FICS系統(tǒng)基于“集成化流體控制+全流程潔凈防護(hù)"雙重邏輯運(yùn)行，通過元件協(xié)同、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與流程管控，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)、潔凈的流體傳輸與調(diào)控。從整體架構(gòu)來看，系統(tǒng)以集成面板為載體，內(nèi)部整合預(yù)設(shè)的閥組、傳感器、控制器等核心元件，形成閉環(huán)流體控制鏈路，外部通過標(biāo)準(zhǔn)化接口與設(shè)備主管路、介質(zhì)源對(duì)接，無需復(fù)雜管路搭建即可投入使用。在潔凈保障原理上，系統(tǒng)從源頭規(guī)避污染風(fēng)險(xiǎn)，一方面通過潔凈室組裝與氮?dú)獯祾吖に?，清除?nèi)部殘留的顆粒雜質(zhì)與油污，組裝后立即密封接口防止二次污染；另一方面依托差異化密封結(jié)構(gòu)，Rc螺紋接頭通過專用密封帶填充間隙，JXR接頭依靠金屬墊圈擠壓密封，雙卡套接頭通過卡套與管路緊密貼合，實(shí)現(xiàn)連接部位無泄漏密封，同時(shí)部分型號(hào)采用禁油設(shè)計(jì)與高真空潤(rùn)滑脂，阻斷油污侵入與介質(zhì)泄漏路徑，保障流體潔凈度與傳輸安全。在流體控制原理上，系統(tǒng)根據(jù)工況需求實(shí)現(xiàn)分級(jí)調(diào)控：搭載AGD-R系列氣控閥的型號(hào)，通過先導(dǎo)式控制實(shí)現(xiàn)流體通路的快速通斷，響應(yīng)及時(shí)且動(dòng)作穩(wěn)定，適配吹掃、預(yù)充等基礎(chǔ)場(chǎng)景；搭配FSM3流量傳感器與FCM控制器的型號(hào)，傳感器實(shí)時(shí)采集流體流量數(shù)據(jù)并反饋至控制器，控制器自動(dòng)調(diào)節(jié)閥組開度，維持流量穩(wěn)定，適配對(duì)參數(shù)精度有持續(xù)要求的工藝；針對(duì)真空?qǐng)鼍暗男吞?hào)，通過HVB系列電磁閥實(shí)現(xiàn)真空與惰性氣體的雙向適配，閥瓣自封結(jié)構(gòu)在斷開時(shí)快速阻斷通路，防止空氣侵入破壞真空環(huán)境。在適配調(diào)節(jié)原理上，系統(tǒng)通過材質(zhì)與結(jié)構(gòu)的靈活適配應(yīng)對(duì)不同工況，不銹鋼、哈氏合金等殼體材質(zhì)提升耐腐蝕性，丁腈橡膠、氟橡膠、全氟橡膠等密封件適配不同溫度與介質(zhì)，優(yōu)化的內(nèi)部流道布局減少流體傳輸時(shí)的壓力損失，兼顧流量效率與運(yùn)行穩(wěn)定性，最終實(shí)現(xiàn)多場(chǎng)景下的高效、潔凈流體控制。