CKD喜開理IAGD5-R-02A-W-12作為IAGD5系列集成化供氣系統(tǒng)中的2連模塊A型3通氣控閥，以1.125″W密封（公稱6.35）為核心規(guī)格，主打工藝氣體與惰性氣體的精準(zhǔn)通斷控制，廣泛適配半導(dǎo)體、電子制造、精密化工等對(duì)供氣穩(wěn)定性與潔凈度有較高要求的場景。該型號(hào)依托氣控驅(qū)動(dòng)與機(jī)械密封結(jié)構(gòu)的協(xié)同作用，實(shí)現(xiàn)回路切換與介質(zhì)控制，同時(shí)兼顧集成化系統(tǒng)的空間優(yōu)化需求，其工作原理可從結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)、動(dòng)作邏輯、核心適配機(jī)制及完整工作流程四個(gè)維度展開。
一、核心結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)
該型號(hào)采用模塊化集成設(shè)計(jì)，主體結(jié)構(gòu)涵蓋閥體、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、密封組件及回路接口四部分，整體適配集成化供氣系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)化布局。閥體采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)部流道經(jīng)精密加工與潔凈處理，減少介質(zhì)殘留與污染風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)保障耐腐蝕性能；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為氣控先導(dǎo)式結(jié)構(gòu)，配備獨(dú)立控制口與復(fù)位組件，控制口規(guī)格為M5，可對(duì)接常規(guī)工業(yè)控制氣源，依靠氣壓差驅(qū)動(dòng)內(nèi)部閥芯動(dòng)作。
密封組件采用W密封標(biāo)準(zhǔn)，搭配FKM材質(zhì)O形圈與精密密封墊，外部密封部默認(rèn)涂抹高真空專用潤滑脂，強(qiáng)化密封可靠性；回路接口對(duì)應(yīng)2連模塊A型3通設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)兩路介質(zhì)回路的切換控制，Cv值為0.26，適配中小流量供氣需求。此外，閥體預(yù)留開關(guān)安裝位，可搭配接近傳感器實(shí)現(xiàn)動(dòng)作狀態(tài)信號(hào)反饋，適配自動(dòng)化控制系統(tǒng)的聯(lián)動(dòng)需求。
二、核心動(dòng)作邏輯
IAGD5-R-02A-W-12采用常閉（NC）動(dòng)作方式，默認(rèn)狀態(tài)下依靠內(nèi)部彈簧預(yù)緊力使閥芯處于閉合位置，阻斷目標(biāo)介質(zhì)回路，確保無控制信號(hào)時(shí)系統(tǒng)維持初始密封狀態(tài)。當(dāng)控制氣源接入控制口，且氣壓達(dá)到0.4~0.6MPa的適配范圍時(shí)，氣壓克服彈簧預(yù)緊力推動(dòng)閥芯移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)閥芯與閥座的分離，同時(shí)切換內(nèi)部流道連通狀態(tài)，使介質(zhì)按預(yù)設(shè)回路流通，完成供氣開啟動(dòng)作。
當(dāng)控制氣源斷開，控制口氣壓降至常壓時(shí)，內(nèi)部彈簧失去氣壓制衡，依靠自身彈性復(fù)位推動(dòng)閥芯回歸閉合位置，閥芯與閥座緊密貼合，阻斷介質(zhì)流通，回路恢復(fù)初始關(guān)閉狀態(tài)。動(dòng)作過程中，閥芯與流道的配合間隙經(jīng)過精準(zhǔn)校準(zhǔn)，減少氣流沖擊與壓力損失，同時(shí)密封組件隨閥芯動(dòng)作同步貼合，避免介質(zhì)泄漏，保障回路切換的平穩(wěn)性與可靠性。
三、工況適配與密封機(jī)制
該型號(hào)針對(duì)集成化供氣系統(tǒng)的工況需求優(yōu)化適配設(shè)計(jì)，使用壓力范圍覆蓋1.3×10??~0.99MPa（abs），可兼容真空工況與常規(guī)供氣壓力場景，流體溫度適配-10~80℃區(qū)間，滿足多數(shù)工業(yè)常溫供氣需求。密封機(jī)制采用多維度防護(hù)設(shè)計(jì)，外部依靠W密封結(jié)構(gòu)與潤滑脂輔助密封，內(nèi)部通過閥芯與閥座的精密貼合阻斷介質(zhì)滲漏，閥座泄漏（He）控制在1.0×10?1? Pa·m3/s以下，外部泄漏（He）低于2.8×10?12 Pa·m3/s，維持系統(tǒng)壓力穩(wěn)定與介質(zhì)潔凈度。
在介質(zhì)適配方面，依托不銹鋼閥體與耐腐蝕密封組件，可適配氫氣、氬氣、氮?dú)獾榷栊詺怏w，以及各類無強(qiáng)腐蝕性的工藝氣體，同時(shí)內(nèi)部流道的高潔凈處理的能減少介質(zhì)污染，適配半導(dǎo)體制造等對(duì)氣體純度要求較高的場景。此外，模塊化結(jié)構(gòu)可與系統(tǒng)內(nèi)減壓閥、流量調(diào)節(jié)閥、手動(dòng)閥等元件協(xié)同工作，通過標(biāo)準(zhǔn)化接口實(shí)現(xiàn)無縫對(duì)接，提升集成系統(tǒng)的整體控制精度。
四、完整工作流程
IAGD5-R-02A-W-12在集成化供氣系統(tǒng)中的工作流程可分為啟動(dòng)、運(yùn)行、停止三個(gè)階段，且與系統(tǒng)整體控制邏輯深度協(xié)同。啟動(dòng)階段，系統(tǒng)控制單元輸出信號(hào)，控制氣源經(jīng)過濾處理后接入閥門控制口，氣壓逐步升至設(shè)定范圍，克服彈簧預(yù)緊力驅(qū)動(dòng)閥芯動(dòng)作，流道切換至工作位置，同時(shí)傳感器反饋“開啟"信號(hào)，系統(tǒng)確認(rèn)閥門就緒，介質(zhì)經(jīng)上游管路過濾、減壓后通過閥門進(jìn)入下游回路，完成供氣啟動(dòng)。
運(yùn)行階段，閥門維持閥芯開啟狀態(tài)，密封組件持續(xù)貼合防護(hù)，避免介質(zhì)泄漏與壓力波動(dòng)，內(nèi)部流道保障介質(zhì)平穩(wěn)流通，適配下游設(shè)備的流量與壓力需求；若系統(tǒng)需切換回路或暫停供氣，控制單元切斷控制氣源，閥門依靠彈簧復(fù)位關(guān)閉流道，傳感器反饋“關(guān)閉"信號(hào)，介質(zhì)輸送中斷，同時(shí)閥門密封結(jié)構(gòu)鎖定，防止外部雜質(zhì)侵入或內(nèi)部殘留介質(zhì)泄漏。
停止階段，閥門處于閉合待機(jī)狀態(tài)，密封組件與閥芯緊密貼合，維持回路密封，此時(shí)可通過系統(tǒng)維護(hù)流程對(duì)閥門進(jìn)行清潔、檢查，確保密封性能與動(dòng)作靈活性，待下次啟動(dòng)時(shí)快速響應(yīng)控制信號(hào)，實(shí)現(xiàn)高效啟停切換。整個(gè)工作流程無需人工干預(yù)，可通過自動(dòng)化控制單元實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)調(diào)控，適配集成化供氣系統(tǒng)的智能化運(yùn)行需求。
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更新時(shí)間：2026-01-27
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