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當前位置:首頁技術文章CKD喜開理微小流量調(diào)節(jié)閥LYX-0961-6BUS的應用案例

CKD喜開理微小流量調(diào)節(jié)閥LYX-0961-6BUS的應用案例

更新時間:2026-01-23點擊次數(shù):54

半導體制造前道工序藥液傳輸

在半導體晶圓清洗與蝕刻工序中,LYX-0961-6BUS作為核心流量控制部件,承擔高純藥液與清洗液的微小流量精準輸送任務。該場景需嚴格控制藥液用量,避免過量蝕刻或清洗不充分影響晶圓品質(zhì),同時要求部件無金屬污染、耐腐蝕性強。此型號憑借無金屬全氟材質(zhì)結(jié)構(gòu),適配氨水等腐蝕性藥液,搭配氣控閥一體功能,可與CKD精致液位開關、回吸閥協(xié)同構(gòu)建閉環(huán)控制回路。實際應用中,通過精準調(diào)節(jié)100mL/min以下微小流量,實現(xiàn)藥液均勻噴淋至晶圓表面,配合閥位鎖定功能,防止工況中意外觸碰導致流量波動,保障每批次晶圓處理一致性,適配半導體車間高密度管路布局,輕量化設計便于集成至精密清洗設備內(nèi)部。

生物醫(yī)藥試劑精準加注

在生物實驗室與醫(yī)藥無菌注射劑灌裝生產(chǎn)線中,該型號用于微量試劑、緩沖液的精準加注與循環(huán)控制。生物醫(yī)藥場景對介質(zhì)純度要求,不允許出現(xiàn)材質(zhì)污染或泄漏,且需穩(wěn)定控制微升級流量,保障實驗數(shù)據(jù)準確性與藥品劑量精度。LYX-0961-6BUS通過精密針形閥芯設計,實現(xiàn)微小流量的線性調(diào)節(jié),搭配PTFE與FKM復合密封件,在0~0.3MPa工作壓力下保持穩(wěn)定密封,適配生物相容性流體傳輸。在細胞培養(yǎng)實驗中,可實現(xiàn)緩沖液的閉環(huán)循環(huán)輸送,維持培養(yǎng)環(huán)境流體穩(wěn)定性;在試劑分裝環(huán)節(jié),與灌裝閥、在線檢漏設備聯(lián)動,精準控制每支試劑加注量,減少液體損耗,同時一體化配管設計便于無菌環(huán)境下的安裝與維護,符合醫(yī)藥行業(yè)潔凈生產(chǎn)要求。

精細化工反應釜添加劑控制

在精細化工行業(yè)的反應釜物料控制場景中,此型號用于腐蝕性添加劑、催化劑的微小流量輸送與調(diào)節(jié)。精細化工反應對添加劑用量敏感,流量波動易導致反應不充分或產(chǎn)物雜質(zhì)超標,且工況中常接觸各類腐蝕性介質(zhì),對閥門耐腐性與穩(wěn)定性要求嚴苛。LYX-0961-6BUS適配5~60℃流體溫度范圍,可耐受化工車間常規(guī)環(huán)境溫度,無金屬結(jié)構(gòu)設計有效抵御腐蝕性介質(zhì)侵蝕,避免材質(zhì)損耗影響調(diào)節(jié)精度。實際應用中,通過氣控閥一體功能實現(xiàn)流量與閥開閉的聯(lián)動控制,按反應進程精準調(diào)節(jié)添加劑注入速率,配合精密減壓閥穩(wěn)定系統(tǒng)壓力,確保添加劑均勻融入反應體系。其靈活的安裝方式可適配反應釜周邊復雜管路布局,簡化冗余部件,減少故障點,保障連續(xù)生產(chǎn)工況下的穩(wěn)定運行。

電子元器件清洗液循環(huán)系統(tǒng)

在電子元器件(如芯片、傳感器)的精密清洗工序中,LYX-0961-6BUS用于清洗液的循環(huán)輸送與流量控制,保障清洗效果的同時減少廢液產(chǎn)生。該場景下,清洗液需以微小流量持續(xù)循環(huán),對元器件表面進行精準沖洗,去除微小雜質(zhì)與殘留污染物,且需避免清洗液泄漏或材質(zhì)污染影響元器件性能。此型號憑借精準的微小流量調(diào)節(jié)能力,可控制清洗液循環(huán)速率,配合密封強化設計,防止清洗液滲漏造成設備損壞與環(huán)境影響。同時,其適配φ6×φ4規(guī)格配管的特性,可無縫集成至清洗液循環(huán)管路,與過濾裝置、循環(huán)泵協(xié)同運作,實現(xiàn)清洗液的高效利用。輕量化與靈活安裝設計,可適配小型清洗設備內(nèi)部空間,后期僅需定期檢查密封性能與閥芯靈活性,維護便捷,滿足電子制造業(yè)高效生產(chǎn)需求。
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